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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Fast 3D lithography simulation by convolutional neural network 
著者
和文: 田邊容由, 佐藤 真平, 高橋 篤司.  
英文: Hiroyoshi Tanabe, Shimpei Sato, Atsushi Takahashi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proc. SPIE 11614, Design-Process-Technology Co-optimization XV 2021, 116140M 
巻, 号, ページ         pp. 1-8
出版年月 2021年2月22日 
出版者
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会議名称
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開催地
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ファイル
DOI https://doi.org/10.1117/12.2583683

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