Linear electro-optic effect in CMOS-compatible ferroelectric HfO2-based epitaxial thin films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Linear electro-optic effect in CMOS-compatible ferroelectric HfO2-based epitaxial thin films

著者

和文:	Shinya Kondo, 志村礼司郎, Takashi Teranishi, Akira Kishimoto, 長﨑正雅, 舟窪浩, 山田智明.
英文:	Shinya Kondo, Reijiro Shimura, Takashi Teranishi, Akira Kishimoto, Takanori Nagasaki, Hiroshi Funakubo, Tomoaki Yamada.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys. RAPID COMMUNICATION

巻, 号, ページ

Vol. 60 pp. 070905

出版年月

2021年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI