Thickness scaling of (Al0.8Sc0.2)N films with remanent polarization beyond 100 μC/cm2 around 10 nm in thickness

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thickness scaling of (Al0.8Sc0.2)N films with remanent polarization beyond 100 μC/cm2 around 10 nm in thickness

著者

和文:	水谷涼一, 安岡慎之介, 白石貴久, 清水荘雄, Masato Uehara, Hiroshi Yamada, Morito Akiyama, 坂田修身, 舟窪浩.
英文:	Ryoichi Mizutani, Shinnosuke Yasuoka, Takahisa Shiraishi, Takao Shimizu, Masato Uehara, Hiroshi Yamada, Morito Akiyama, Osami Sakata, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Phys. Exp.

巻, 号, ページ

Vol. 14 pp. 105501

出版年月

2021年9月

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI