Low temperature preparation of thick Y-HfO2 ferroelectric films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low temperature preparation of thick Y-HfO2 ferroelectric films

著者

和文:	舟窪浩, 志村礼司郎, 三村和仙, 舘山明紀, Nakamura, Y., 清水荘雄, Yamada, T., Tanaka, Y., Inoue, Y..
英文:	Funakubo, H., Shimura, R., Mimura, T., Tateyama, A., Nakamura, Y., Shimizu, T., Yamada, T., Tanaka, Y., Inoue, Y..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年9月20日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	E-MRS (2021 Fall Meeting of the European Materials Research Society)

開催地

和文:
英文: