Downscaling and low temperature deposition of ferroelectric (Al1-xScx)N thin films deposited by dual sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Downscaling and low temperature deposition of ferroelectric (Al1-xScx)N thin films deposited by dual sputtering

著者

和文:	安岡慎之介, 清水荘雄, Masato Uehara, Hiroshi Yamada, Morito Akiyama, Yoshiomi Hiranaga, 長康雄, 舟窪浩.
英文:	Shinnosuke Yasuoka, Takao Shimizu, Masato Uehara, Hiroshi Yamada, Morito Akiyama, Yoshiomi Hiranaga, Yasuo Cho, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年5月16日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2021 ISAF-ISIF-PFM Joint Conference

開催地

和文:
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