多元同時スパッタリング法によるアモルファス酸化物固体電解質のコンビナトリアル合成手法開発 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	多元同時スパッタリング法によるアモルファス酸化物固体電解質のコンビナトリアル合成手法開発
英文:

著者

和文:	佐々木俊介.
英文:	Shunsuke Sasaki.

種別

種別:	学位論文(博士)論文要旨
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

甲第11815号

学位授与日

2022/03/26

審査員

菅野了次, 平山雅章, 荒井創, 北村房男, 脇慶子, 鈴木耕太, 中村二朗.

ファイル

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