FCVA 法によるta-C 膜の3 次元成膜および特性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	FCVA 法によるta-C 膜の3 次元成膜および特性評価
英文:	Study on the 3-dimensional coating and the evaluation of ta-C film properties prepared by FCVA method

著者

和文:	平田祐樹, 川合功太郎, 加藤豊大, 藤本隼汰, 為野悠人, 石川功, 松岡広成, 赤坂大樹, 大竹尚登.
英文:	Yuki Hirata, Kotaro Kawai, Toyohiro Kato, Hayata Fujimoto, Yuto Tameno, Takumi Ishikawa, Hiroshige Matsuoka, Hiroki Akasaka, Naoto Ohtake.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2022年度精密工学会春季大会学術講演会要綱集
英文:	Abst. book: The Japan Society for Precision Engineering Spring Meeting 2022

巻, 号, ページ

出版年月

2022年3月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	2022年度精密工学会春季大会学術講演会
英文:	The Japan Society for Precision Engineering Spring Meeting 2022

開催地

和文:
英文: