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論文・著書情報


タイトル
和文:微細毛静電チャックの表面柔軟性確保のためのシート状交互五層（導電層、絶縁層）高分子複合材料の開発 
英文: 
著者
和文: 駒田ひろ, 田岡祐樹, 宝田亘, 齋藤滋規.  
英文: Hiro Komada, Yuki Taoka, wataru takarada, Shigeki SAITO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2022年度精密工学会春季大会学術講演会論文集 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2022年3月15日 
出版者
和文:公益財団法人精密工学会 
英文: 
会議名称
和文:2022年度精密工学会春季大会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:東京都 
英文: 

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