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論文・著書情報


タイトル
和文:3次元容量検出電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討 
英文: 
著者
和文: 大西哲, 内山晃宏, 柴田滉平, 市川崇志, 李尚曄, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之.  
英文: Akira Onishi, Akihiro Uchiyama, Kohei Shibata, Takasi Ichikawa, Sangyeop Lee, Shinichi Iida, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroyuki Ito.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2021年11月 
出版者
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会議名称
和文:第13回集積化MEMSシンポジウム 
英文: 
開催地
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