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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Warpage Characteristics of Gold Proof Mass in MEMS Capacitive Accelerometer 
著者
和文: 大村 太郎, 陳 君怡, 栗岡 智行, Chang Tso-Fu Mark, 大西 哲, CHAKRABORTY P, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人.  
英文: Taro Omura, Chun-Yi Chen, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Akira Onishi, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2022年9月14日 
出版者
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会議名称
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英文:48th international conference on Micro and Nano Engineering - Eurosensors (MNE-ES) 
開催地
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