強誘電体(Al1-xScx)N薄膜の結晶構造と電気特性の関係

論文・著書情報

タイトル

和文:	強誘電体(Al1-xScx)N薄膜の結晶構造と電気特性の関係
英文:

著者

和文:	安岡慎之介, 水谷涼一, 大田怜佳, 白石貴久, 清水荘雄, 上原雅人, 山田浩志, 秋山守人, 舟窪浩.
英文:	Shinnosuke Yasuoka, Ryoichi Mizutani, Reika Ota, Takahisa Shiraishi, Shimizu Takao, 上原雅人, 山田浩志, 秋山守人, HIROSHI FUNAKUBO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年11月4日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第41回電子材料研究討論会
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開催地

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