水熱合成または高周波スパッタリングにより成膜された (K,Na)NbO3膜のBAW・SAW伝搬特性

論文・著書情報

タイトル

和文:	水熱合成または高周波スパッタリングにより成膜された (K,Na)NbO3膜のBAW・SAW伝搬特性
英文:

著者

和文:	吉澤宗眞, 鈴木雅視, 垣尾省司, 伊東良晴, 舘山明紀, 白石貴久, 舟窪浩, 若林剛, 柴田憲治.
英文:	吉澤宗眞, 鈴木雅視, 垣尾省司, Yoshiharu Ito, Akinori Tateyama, Takahisa Shiraishi, HIROSHI FUNAKUBO, 若林剛, 柴田憲治.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年1月27日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	圧電材料・デバイスシンポジウム
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開催地

和文:
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