Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文:カーボンオニオンにより超精密研磨した単結晶SiC面の加工変質層評価 
英文: 
著者
和文: 村井祥祐, 桃園 聡, 青野祐子, 平田 敦.  
英文: Shosuke Murai, Satoshi MOMOZONO, Yuko Aono, ATSUSHI HIRATA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2022年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 729-730
出版年月 2022年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2022年度精密工学会春季大会学術講演会 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.