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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Development of bipolar electrostatic chucks with a compliant beam-array assembly from composite-laminated plates using abrasive water jet 
著者
和文: 凌 智寛, 田岡 祐樹, 齋藤 滋規.  
英文: Ryo Tomohiro, Yuki Taoka, Shigeki Saito.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:MRS Advances 
巻, 号, ページ        
出版年月 2022年8月 
出版者
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会議名称
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開催地
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