PLD合成したアモルファス酸化バナジウム系薄膜の紫外光照射及び一軸圧縮熱処理による電気特性制御

論文・著書情報

タイトル

和文:	PLD合成したアモルファス酸化バナジウム系薄膜の紫外光照射及び一軸圧縮熱処理による電気特性制御
英文:	Electrical property control of PLD-deposited amorphous vanadium oxide thin films by UV irradiation and uniaxial compression annealing

著者

和文:	大澤樹, 庄司拓貴, 金子健太, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Itsuki Osawa, Hiroki Shoji, Kenta Kaneko, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年9月21日

出版者

和文:	応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第83回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 83rd JSAP Autumn Meeting 2022

開催地

和文:	宮城県仙台市
英文:	Sendai

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