酸化スズ薄膜の室温PLD合成と一軸圧縮熱処理による固相結晶化

論文・著書情報

タイトル

和文:	酸化スズ薄膜の室温PLD合成と一軸圧縮熱処理による固相結晶化
英文:	Development of tin oxide thin films by room-temperature PLD and solid-phase crystallization under uniaxial compression

著者

和文:	加藤礼雄, 庄司拓貴, 金子健太, 金子智, 吉本護, 松田晃史.
英文:	Reo Kato, Hiroki Shoji, Kenta Kaneko, Satoru Kaneko, MAMORU YOSHIMOTO, Akifumi Matsuda.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年9月21日

出版者

和文:	応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第83回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 83rd JSAP Autumn Meeting 2022

開催地

和文:	宮城県仙台市
英文:	Sendai

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