Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文:超高真空スパッタリング装置を用いた高移動度多結晶 Zn3N2 薄膜 
英文: 
著者
和文: 清水篤, 井手啓介, 片瀬貴義, 平松秀典, 細野秀雄, 神谷利夫.  
英文: Atsushi Shimizu, Keisuke Ide, Takayoshi Katase, hidenori hiramatsu, HIDEO HOSONO, TOSHIO KAMIYA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2022年11月17日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:薄膜材料デバイス研究会 第19回研究集会「新半導体材料・デバイス:SDGs実現へ向けて」 
英文: 
開催地
和文:京都 
英文: 

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.