異種材料集積光回路に向けた 大気圧プラズマジェット処理したシリコンの 表面状態の観測

論文・著書情報

タイトル

和文:	異種材料集積光回路に向けた大気圧プラズマジェット処理したシリコンの表面状態の観測
英文:	Observation of surface condition of silicon treated by jet type of atmospheric plasma for fabrication of heterogeneous material integrated optical circuits

著者

和文:	日原弘喜, 山内素明, 沖野晃俊, 西山伸彦.
英文:	Koki Hihara, Motoaki Yamauchi, AKITOSHI OKINO, Nobuhiko Nishiyama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

出版年月

2023年3月15日

出版者

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会議名称

和文:	第70回応用物理学会春季学術講演会
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開催地

和文:	東京都千代田区紀尾井町7－1
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