Development of a Compliant Bipolar Electrostatic Chuck Having 3D-Printed Elastically-Deformable Beams for Handling Large Film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of a Compliant Bipolar Electrostatic Chuck Having 3D-Printed Elastically-Deformable Beams for Handling Large Film

著者

和文:	林輝道, 田岡祐樹, 齋藤滋規.
英文:	Terumichi Hayashi, Yuki Taoka, Shigeki Saito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	MRS Fall Meeting and Exhibit 2019

開催地

和文:
英文: