Synthesis of Carbon-Based Thin Films by PECVD and Their Nanostructure Control

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Synthesis of Carbon-Based Thin Films by PECVD and Their Nanostructure Control

著者

和文:	森伸介, BOHLOOLI Fatemeh, HOSSEIN NEDJAD Nasrin, A. ANAGRI.
英文:	Shinsuke Mori, F. Bohlooli, N. Nedjad, A. ANAGRI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. AVS Pacific Rim Symposium on Surfaces, Coatings and Interfaces (PacSurf 2022)

巻, 号, ページ

出版年月

2022年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	AVS Pacific Rim Symposium on Surfaces, Coatings and Interfaces (PacSurf 2022)

開催地

和文:
英文:	Hawaii