Observation of Negative Piezoelectricity in HfO2-Based Thin-Film Capacitors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Observation of Negative Piezoelectricity in HfO2-Based Thin-Film Capacitors

著者

和文:	Pratyush P. Buragohain, Sangita Dutta, Haidong Lu, Sebastjan Glinsek, Hugo Aramberri, Claudia Richter, Pamenas Kariuki, Terence Mittmann, 三村和仙, 清水荘雄, 舟窪浩, Uwe Schroeder, Emmanuel Defay, Jorge Iniguez, Alexei Gruverman.
英文:	Pratyush P. Buragohain, Sangita Dutta, Haidong Lu, Sebastjan Glinsek, Hugo Aramberri, Claudia Richter, Pamenas Kariuki, Terence Mittmann, Takanori Mimura, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo, Uwe Schroeder, Emmanuel Defay, Jorge Iniguez, Alexei Gruverman.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年5月23日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2022 MRS Spring Meeting & Exhibit

開催地

和文:
英文:	Honolulu, Hawai’i