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論文・著書情報


タイトル
和文:12インチの半導体ウェハを親水化処理するためのリニア型大気圧プラズマ装置の開発 
英文: 
著者
和文: 古谷淳之介, 日原弘喜, 八井田朱音, 沖野晃俊.  
英文: Junnosuke Furuya, Koki Hihara, Akane Yaida, AKITOSHI OKINO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2023年8月25日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:電気学会東京支部カンファレンス学生研究発表会 
英文: 
開催地
和文:東京 
英文: 
受賞情報 優秀発表賞

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