Impurity Analysis of Electroplated Gold Components with Multi-Layered Structures by Thermal Desorption Spectrometry toward Application in Gold Micro Electro Mechanical System Capacitive Accelerometers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Impurity Analysis of Electroplated Gold Components with Multi-Layered Structures by Thermal Desorption Spectrometry toward Application in Gold Micro Electro Mechanical System Capacitive Accelerometers

著者

和文:	秋山拓海, 栗岡智行, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, CHAKRABORTY P, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博, 曽根正人.
英文:	Takumi Akiyama, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Micro and Nano Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 21 p. 100226

出版年月

2023年9月4日

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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