単色化軟X 線照射によるDLC 膜の体積変化

論文・著書情報

タイトル

和文:	単色化軟X 線照射によるDLC 膜の体積変化
英文:	Volume changes of DLC films by monochromatized soft X-ray irradiation

著者

和文:	三嶋友博, 森田恭司, 中西康次, 赤坂大樹, 鈴木常生, 神田一浩.
英文:	三嶋友博, 森田恭司, 中西康次, Hiroki Akasaka, 鈴木常生, 神田一浩.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会要旨集
英文:	Abst. book of The 84th JSAP Autumn Meeting 2023

巻, 号, ページ

出版年月

2023年9月20日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 84th JSAP Autumn Meeting 2023

開催地

和文:	熊本
英文: