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論文・著書情報


タイトル
和文:格子整合によるY 添加HfO2強誘電体薄膜の配向制御 
英文: 
著者
和文: 前川 芳輝, 平井 浩司, 岡本 一輝, 清水 荘雄, 舟窪 浩.  
英文: Yoshiki Maekawa, Koji Hirai, Kazuki Okamoto, Shimizu Takao, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2023年9月19日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第84回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:熊本 
英文: 

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