Initial trap and hysteresis analysis of Atomic Layer Deposited Al2O3 on b-Ga2O3

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Initial trap and hysteresis analysis of Atomic Layer Deposited Al2O3 on b-Ga2O3

著者

和文:	SuChen-Yi, 星井拓也, 宗田伊理也, 若林整, 筒井一生, 岩井洋, 角嶋邦之.
英文:	Chen-Yi Su, Takuya Hoshii, Iriya Muneta, Hitoshi Wakabayashi, Kazuo Tsutsui, Hiroshi Iwai, Kuniyuki Kakushima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年3月18日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第85回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	65th JSAP Spring meeting

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo