Influence of sputtering power on the switching and reliability of ferroelectric Al0.7Sc0.3N films

論文・著書情報

タイトル

和文:	Influence of sputtering power on the switching and reliability of ferroelectric Al0.7Sc0.3N films
英文:	Influence of sputtering power on the switching and reliability of ferroelectric Al0.7Sc0.3N films

著者

和文:	Ryota Shibukawa, Sung-Lin Tsai, 星井拓也, Hitoshi Wakabayashi, Kazuo Tsutsui, Kuniyuki Kakushima.
英文:	Ryota Shibukawa, Sung-Lin Tsai, Takuya Hoshii, Hitoshi Wakabayashi, Kazuo Tsutsui, Kuniyuki Kakushima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Japanese Journal of Applied Physics
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 61 No. SH pp. SH1003

出版年月

2022年7月1日

出版者

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会議名称

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開催地

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