Atomic layer deposition of Y2O3 thin films with a high growth per cycle by Ar multiple boost injection

論文・著書情報

タイトル

和文:	Atomic layer deposition of Y2O3 thin films with a high growth per cycle by Ar multiple boost injection
英文:	Atomic layer deposition of Y2O3 thin films with a high growth per cycle by Ar multiple boost injection

著者

和文:	Jinhan Song, Y. Lin, T. Hoshii, H. Wakabayashi, K. Tsutsui, K. Kakushima, 星井拓也.
英文:	Jinhan Song, Y. Lin, T. Hoshii, H. Wakabayashi, K. Tsutsui, K. Kakushima, Takuya Hoshii.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Japanese Journal of Applied Physics
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

出版年月

2020年7月1日

出版者

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会議名称

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開催地

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