Fabrication of nonreflective black germanium in near-infrared region up to a wavelength of 2.5 µm by SF6+O2/C4F8-plasma-based deep reactive ion etching

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of nonreflective black germanium in near-infrared region up to a wavelength of 2.5 µm by SF6+O2/C4F8-plasma-based deep reactive ion etching

著者

和文:	遠西美重, 松下祥子, 松谷晃宏.
英文:	Mie Tohnishi, Sachiko Matsushita, Akihiro Matsutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of International Symposium on Dry Process

巻, 号, ページ

出版年月

2023年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2023 International Symposium on Dry Process (DPS 2023)

開催地

和文:
英文:	Nagoya