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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Attractive Force Increased by Rotational Degree Of-Freedom Tip Structure Used in Beam Structure Electrostatic Chucks 
著者
和文: 許 三川, 田岡祐樹, 齋藤滋規.  
英文: Sanchuan XU, Yuki Taoka, Shigeki SAITO.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2024年3月 
出版者
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会議名称
和文:2024年度精密工学会春季大会学術講演会 
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開催地
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