Electrostatic chuck having compliant multi-beam structures with rotatable bipolar pad-shaped electrodes

論文・著書情報

タイトル

和文:	Electrostatic chuck having compliant multi-beam structures with rotatable bipolar pad-shaped electrodes
英文:	Electrostatic chuck having compliant multi-beam structures with rotatable bipolar pad-shaped electrodes

著者

和文:	Yuki Taoka, 凌智寛, 許三川, 齋藤滋規.
英文:	Yuki Taoka, Tomohiro Ryo, Sanchuan XU, Shigeki SAITO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Engineering Research Express
英文:	Engineering Research Express

巻, 号, ページ

Vol. 6 No. 1 pp. 015046

出版年月

2024年1月

出版者

和文:	IOP Publishing
英文:	IOP Publishing

会議名称

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英文:

開催地

和文:
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