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論文・著書情報


タイトル
和文:大電力パルスマグネトロンスパッタリングSiC薄膜のレーザ改質による潤滑性の向上 
英文: 
著者
和文: 佐藤智輝, 稲葉梨々花, 徳永大二郎, 青野祐子, 平田 敦.  
英文: Tomoki Sato, Ririka Inaba, Daijiro Tokunaga, Yuko Aono, ATSUSHI HIRATA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2024年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         p. 671
出版年月 2024年2月28日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2024年度精密工学会春季大会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:東京 
英文: 

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