Effects of plasma oxidation and plasma nitridation on chemical bonding state of AlScN evaluated by AR-HAXPES

論文・著書情報

タイトル

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英文:	Effects of plasma oxidation and plasma nitridation on chemical bonding state of AlScN evaluated by AR-HAXPES

著者

和文:	Tomoya Tsutsumi, Kazuki Goshima, Yoshiharu Kirihara, Tatsuki Okazaki, 保井晃, Mitani Yuichiro, 角嶋邦之, 野平博司.
英文:	Tomoya Tsutsumi, Kazuki Goshima, Yoshiharu Kirihara, Tatsuki Okazaki, Akira Yasui, Mitani Yuichiro, Kuniyuki KAKUSHIMA, Hiroshi Nohira.

言語

English

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

出版年月

2024年4月18日

出版者

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会議名称

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開催地

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