Identification of compressive strain in thin ferroelectric Al1–xScxN films by Raman spectroscopy

論文・著書情報

タイトル

和文:	Identification of compressive strain in thin ferroelectric Al1–x Sc x N films by Raman spectroscopy
英文:	Identification of compressive strain in thin ferroelectric Al1–xScxN films by Raman spectroscopy

著者

和文:	時田幸村, 星井拓也, 若林整, 筒井一生, 角嶋邦之.
英文:	Yukimura Tokita, Takuya Hoshii, Hitoshi Wakabayashi, KAZUO TSUTSUI, Kuniyuki KAKUSHIMA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Japanese Journal of Applied Physics
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Volume 63 Number 4 04SP31

出版年月

2024年4月

出版者

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会議名称

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開催地

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