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論文・著書情報


タイトル
和文:Pt下部電極の膜厚がAlScNの膜特性に及ぼす影響 
英文: 
著者
和文: 道古宗俊, 松井尚子, 入澤寿和, 恒川孝二, 中村美子, 岡本一輝, 舟窪浩.  
英文: 道古宗俊, 松井尚子, 入澤寿和, 恒川孝二, 中村美子, Kazuki Okamoto, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2024年3月22日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第71回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:東京都 
英文: 

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