Enhancing analysis efficiency: Automation of spectroscopic ellipsometry for crystalline semiconductors and transparent conductive oxides

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Enhancing analysis efficiency: Automation of spectroscopic ellipsometry for crystalline semiconductors and transparent conductive oxides

著者

和文:	Sara Maeda, Yusuke Tani, Hirotaka Katayama, Daiji Kanematsu, Kohei Oiwake, Yukinori Nishigaki, Tetsuhiko Miyadera, Masayuki Chikamatsu, Takayuki Nagai, 半沢幸太, 平松秀典, Akira Terakawa, 細野秀雄, 相澤拓磨, 藤原裕之.
英文:	Sara Maeda, Yusuke Tani, Hirotaka Katayama, Daiji Kanematsu, Kohei Oiwake, Yukinori Nishigaki, Tetsuhiko Miyadera, Masayuki Chikamatsu, Takayuki Nagai, Kota Hanzawa, Hidenori Hiramatsu, Akira Terakawa, Hideo Hosono, Takuma Aizawa, Hiroyuki Fujiwara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 787 p. 140099

出版年月

2023年12月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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