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論文・著書情報


タイトル
和文:Silicon wafer crack detection using nonlinear ultrasonic modulation induced by high repetition rate pulse laser 
英文:Silicon wafer crack detection using nonlinear ultrasonic modulation induced by high repetition rate pulse laser 
著者
和文: Jang, J., Liu, P., KimByunggi, Kim, S.-W., Sohn, H..  
英文: Jang, J., Liu, P., Byunggi Kim, Kim, S.-W., Sohn, H..  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:Optics and Lasers in Engineering 
英文:Optics and Lasers in Engineering 
巻, 号, ページ Vol. 129       
出版年月 2020年 
出版者
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会議名称
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開催地
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公式リンク http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85079889116&partnerID=MN8TOARS
 
DOI https://doi.org/10.1016/j.optlaseng.2020.106074

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