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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:[P5-20] DC sputtering of Cu2O films by using Cu/CuO mixture target 
著者
和文: 関口 晨雄, 宮島 晋介.  
英文: Akio Sekiguchi, Shinsuke Miyajima.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2024年7月5日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:The 17th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes (ISSP2024) 
開催地
和文: 
英文:Kyoto 
公式リンク https://www.issp-jvss.org/
 

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