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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:[24p-12M-8] Optimization of i-a-Si:H passivation process by DC facing target sputtering deposition 
著者
和文: LI SHASHA, 宮島 晋介.  
英文: Shasha Li, Shinsuke Miyajima.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2024年3月24日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:2024年第71回応用物理学会春季学術講演会 
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開催地
和文:東京 
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公式リンク https://pub.confit.atlas.jp/ja/event/jsap2024s
 

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