機能性酸化物エピタキシャル薄膜の構造・物性に与える真空紫外光励起酸素種の効果

論文・著書情報

タイトル

和文:	機能性酸化物エピタキシャル薄膜の構造・物性に与える真空紫外光励起酸素種の効果
英文:

著者

和文:	金子健太, 喬宇馳, 平野拓夢, 金子智, 松田晃史.
英文:	Kenta Kaneko, Uchi Kyou, Takumu Hirano, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2024年9月3日

出版者

和文:	日本セラミックス協会
英文:

会議名称

和文:	日本セラミックス協会第37回秋季シンポジウム
英文:	The Ceramic Society of Japan The 37th Fall Meeting

開催地

和文:	愛知県名古屋市
英文:	Nagoya