Design of Layer-to-Layer Coupler between Si and SiON Waveguides using Low Index (~1.6) SiON

論文・著書情報

タイトル

和文:	低屈折率(~1.6)SiON を利用した Si 導波路-SiON 導波路層間結合器の設計
英文:	Design of Layer-to-Layer Coupler between Si and SiON Waveguides using Low Index (~1.6) SiON

著者

和文:	陳浩宇, Eissa Moataz, 姚凱繽, 堀川剛, 西山伸彦.
英文:	Haoyu Chen, Eissa Moataz, Kaibin Yao, Tsuyoshi Horikawa, Nobuhiko Nishiyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2025年3月14日

出版者

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会議名称

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英文:	The 72nd JSAP Spring Meeting 2025

開催地

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