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論文・著書情報


タイトル
和文:スパッタＷ膜形成時の内部応力in-situ観測による成長機構解析 
英文:Analysis of growth mechanism using in-situ observation of internal stress during sputter-deposition of W films 
著者
和文: 中川 茂樹, 横澤 諒, 飯田 大介, 高村 陽太, 中光 豊, 清田 哲司.  
英文: Shigeki Nakagawa, Ryo Yokozawa, Daisuke Iida, yota Takamura, Yutaka Nakamitsu, Tetsuji Kiyota.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ 16p-K504-10       
出版年月 2025年3月16日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2025年 第72回応用物理学会春期学術講演会 
英文:The 72nd JSAP Spring Meeting 2025 
開催地
和文:千葉 
英文:Chiba 

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