Stable high-switching speed in (Al,Sc)N films heat-treated under H2 atmosphere

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Stable high-switching speed in (Al,Sc)N films heat-treated under H2 atmosphere

著者

和文:	Nana Sun, 岡本一輝, 安岡慎之介, 道古宗俊, Naoko Matsui, Toshikazu Irisawa, 恒川孝二, 舟窪浩.
英文:	Nana Sun, Kazuki Okamoto, Shinnosuke Yasuoka, Soshun Doko, Naoko Matsui, Toshikazu Irisawa, Koji Tsunekawa, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

15C-2-2

出版年月

2024年11月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	MNC 2024

開催地

和文:
英文: