"井上裕生,佐藤海二","静電アクチュエータ用案内に関する基礎研究","2010年度精密工学会秋季大会学術講演会","2010年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集","精密工学会",,,"pp. 979-980",2010,Mar.