"小松原 理央,玉田 耕治,平田 祐樹,大竹 尚登,赤坂 大樹","ネオジウム磁石を用いたマグネトロンスパッタリング源からの アモルファス炭素膜の作製","2023年 第84回応用物理学会 秋季学術講演会","2023年 第84回応用物理学会 秋季学術講演会要旨集",,,,,2023,Sept.