"森澤利浩,小林裕通,武田行生","非線形プロセスモデルに基づくCMP-APC（第2報，セリアスラリーによる酸化膜のCMPのRun-to-Run制御）",,"精密工学会誌",,"Vol. 77","No. 9","pp. 868-872",2011,Sept.