"濱田裕史,久保田晃司,水本哲弥","シャドウマスクを用いた縦テーパ導波路の形成","2009年秋季第69回応用物理学会講演会","2009年秋季第69回応用物理学会講演会講演論文集","応用物理学会",,,"  10a-ZN-8",2009,Sept.