"市川 崇志,乙部 翔太,渥美 賢,古賀 達也,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,曽根 正人,町田 克之,益 一哉","3Dピラー型Au錘MEMS加速度センサ","第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム",,,,,"  19am3-PS3-21",2019,Nov.
"市川 崇志,乙部 翔太,渥美 賢,古賀 達也,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,町田 克之,曽根 正人,益 一哉","Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討 (2)","第80回応用物理学会秋季学術講演会",,,,,,2019,Sept.
"Ken Atsumi,Shota Otobe,Tatsuya Koga,Takashi Ichikawa,Daisuke Yamane,Shinichi Iida,Hiroyuki Ito,Noboru Ishihara,Masato Sone,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","Pillar-Shaped Electrodes for 3-axis Gold-Proof-Mass MEMS Capacitive Accelerometers","Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS(DTIP2019)","IEEE Conference Paper","IEEE",,,,2019,May
"乙部 翔太,渥美 賢,古賀 達也,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,曽根 正人,町田 克之,益 一哉","Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討","第66回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2019,Mar.
"渥美 賢,乙部 翔太,古賀 達也,市川 崇志,山根 大輔,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,曽根 正人,町田 克之,益 一哉","積層メタル技術によるピラー型容量検出電極の検討","第66回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2019,Mar.
"Daisuke Yamane,Shota Otobe,Ken Atsumi,Tatsuya Koga,Toshifumi Konishi,Teruaki Safu,Shinichi Iida,Hiroyuki Ito,Noboru Ishihara,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","A 3-D PARALLEL-PLATE MEMS ACCELEROMETER WITH A GOLD PROOF MASS","32nd Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019)",,,,,"pp. 684-687",2019,Jan.
"Shota Otobe,Tatsuya Koga,Ken Atsumi,Daisuke Yamane,Toshifumi Konishi,Teruaki Safu,Shin-ichi Iida,Hiroyuki. Ito,Noboru Ishihara,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","A Sub-1mG Tri-Axis MEMS Accelerometer with Multiple Segmented Capacitance Detection Electrodes","31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2018)",,,,,,2018,Nov.
"乙部 翔太,山根 大輔,小西 敏文,佐布 晃昭,飯田 慎一,伊藤 浩之,石原 昇,町田 克之,益 一哉","シングルAu錘と分割電極容量検出(SCD)方式を用いた3軸全差動MEMS加速度センサ","第10回集積化MEMSシンポジウム",,,,,,2018,Oct.
"Shota Otobe,Daisuke Yamane,Toshifumi Konishi,Teruaki Safu,Hiroyuki Ito,Shiro Dosho,Noboru Ishihara,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","Tri-Axis Fully-Differential MEMS Accelerometer with Segmented Capacitance Detection","Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2018 (APCOT 2018)",,,,,,2018,June
"新島 宏文,乙部 翔太,高安 基大,山根 大輔,小西 敏文,佐布 晃昭,伊藤 浩之,年吉 洋,町田 克之,益 一哉","高感度MEMS加速度センサのBrownian Noise評価に関する検討","第64回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2018,Mar.
"新島 宏文,乙部 翔太,高安 基大,山根 大輔,伊藤 浩之,佐布 晃昭,小西 敏文,道正 志郎,飯田 慎一,石原 昇,町田 克之,益 一哉","単一Au錘3軸差動MEMS加速度センサの検討","平成30年電気学会全国大会",,,,,,2018,Mar.
"乙部 翔太,高安 基大,山根 大輔,小西 敏文,佐布 晃昭,伊藤 浩之,道正 志郎,石原 昇,町田 克之,益 一哉","3軸MEMS加速度センサにおける単一Au錘および電極分割方式の検討","第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム",,,,,,2017,Oct.
"Shouta Otobe,Daisuke Yamane,Toshifumi Konishi,Teruaki Safu,Hiroyuki Ito,Shiro Dosho,Noboru Ishihara,Katsuyuki Machida,Kazuya Masu","A Tri-axis MEMS Accelerometer With a Gold Electroplated Single-proof-mass and Segmented Electrodes","2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017)",,,,,,2017,Sept.