@inproceedings{CTT100604546,
  author = {井上裕生 and 佐藤海二},
  title = {静電アクチュエータ用案内に関する基礎研究},
  booktitle = {2010年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集},
  year = 2010,
}