@article{CTT100659269, author = {藤原 良元 and 石橋 正登 and 進士 忠彦 and 上原 稔 and 堀 充孝 and 藤原 閲夫}, title = {薄膜ネオジム磁石の交番着磁とそれを用いたMEMSリニアモータの試作}, journal = {}, year = 2013, } @inproceedings{CTT100631666, author = {Tadahiko Shinshi and Masato Ishibashi and Minoru Uehara}, title = {A MEMS Linear Motor Utilizing a Thin FilmPermanent Magnet}, booktitle = {The 20th MAGDA,Proceedings}, year = 2011, } @inproceedings{CTT100627979, author = {進士 忠彦 and 石橋 正登 and 上原 稔}, title = {薄膜ネオジム磁石を用いたマイクロリニアモータ}, booktitle = {2011年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集}, year = 2011, } @inproceedings{CTT100631568, author = {上原 稔 and 進士 忠彦 and 石橋 正登}, title = {スパッタリング用Nd-Fe-B焼結ターゲットの開発と永久磁石膜を備えたリニアモーターの試作}, booktitle = {第35回日本磁気学会学術講演会講演論文集}, year = 2011, } @inproceedings{CTT100615024, author = {Masato Ishibashi and Ryo Tanabe and Tadahiko Shinshi and Minoru Uehara}, title = {Electromagnetic-Force-Driving Type Mems Switch Using High Performance NdFeB/Ta Thin Film Permanent Magnet}, booktitle = {Proceedings of The Twenty-fifth Annual Meeting of The American Society for Precision Engineering}, year = 2010, } @inproceedings{CTT100615786, author = {石橋 正登 and 進士 忠彦 and バトサイハン バンズラグチ and 堀 充孝 and 上原 稔}, title = {ネオジム薄膜磁石を用いたマイクロリニアモータ}, booktitle = {第19回MAGDAコンファレンスin札幌 電磁現象および電磁力に関するコンファレンス講演論文集}, year = 2010, } @inproceedings{CTT100612231, author = {上原 稔 and 石橋 正登 and 進士 忠彦}, title = {Nd-Fe-B/Ta多層永久磁石薄膜の磁気デバイスへの応用とドライエッチングによる微細加工の検討}, booktitle = {第34回日本磁気学会学術講演概要集2010}, year = 2010, } @inproceedings{CTT100605214, author = {石橋正登 and 田辺亮 and 進士忠彦 and 上原 稔}, title = {高性能薄膜永久磁石を用いた電磁力駆動型RF-MEMSスイッチ}, booktitle = {第22回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム 講演論文集}, year = 2010, }